Gigaphoton發布了世界上最大的KrF激光器G45K

來源:光與世界    關鍵詞:激光器, 光刻, 芯片,    發布時間:2019-02-22

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近日,半導體光刻光源制造商Gigaphoton株式會社宣布,自2019年3月開始出產世界上最大輸出級KrF激光器G45K,它將有助于進一步提高最尖端存儲芯片的生產效率。

據了解,Gigaphoton的KrF激光器G45K輸出功率達到50W,比傳統型號提高了25%以上,使得最尖端的存儲芯片能夠實現更高效率的生產。

此外,通過將裝置中主要模塊的使用壽命延長20%,能夠大幅減少維護停機的時間,同時也有助于提高生產率。

Gigaphoton的董事總經理兼CEO浦中克己先生表示:“隨著物聯網和人工智能的迅速普及,提高最尖端存儲芯片的生產率是我們的客戶芯片制造商的當務之急。Gigaphoton的KrF激光器G45K實現了世界上最大級的輸出功率,并且通過延長模塊的壽命節省了停機時間,我們相信這些將對客戶的高效生產作出貢獻?!?br />
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